飞秒激光辅助制造下,以压电驱动结晶石英为基础的MEMS谐振器工艺。
介绍了一种用于MEMS应用的石英谐振器精确制造的新技术。这种方法 基于石英的激光诱导化学蚀刻。主要加工步骤包括飞秒紫外激光 处理Cr Au涂覆的Z切割α石英晶片,然后进行湿法蚀刻。激光图案化Cr-Au涂层 用作蚀刻掩模并且用于形成用于压电致动的电极。这种制造方法 改变石英的晶体结构或其压电财产。缺陷的形成,这在 通过优化工艺参数和控制时间行为来防止激光微加工石英 激光与物质的相互作用。该工艺不涉及任何光刻,并允许进行高几何设计 灵活性压电致动梁型谐振器的几种配置是使用相对 温和的湿法蚀刻条